sssj微機電系統(tǒng)陀螺儀介紹

陀螺儀（角速率傳感器）用于測量旋轉(zhuǎn)速度（角速度）。
如果旋轉(zhuǎn)軸是固定的，則可以通過在旋轉(zhuǎn)軸上安裝轉(zhuǎn)速表或電位器來獲得角度或角速度，但是在空間中移動的物體（飛機，輪船，汽車等）沒有旋轉(zhuǎn)軸并且可以自由移動，因此無法使用轉(zhuǎn)速表和電位器。 在此類應(yīng)用中，陀螺儀用于了解角度或角速度。

硅傳感陀螺儀是一種具有無與的結(jié)構(gòu)的陀螺儀，其中使用MEMS技術(shù)制造的硅環(huán)形諧振器被共振振動，角速度由那里產(chǎn)生的科里奧利力獲得（詳細機制如下所述）。

自1998年成功開發(fā)MEMS型陀螺儀以來，Silicon Sensing已經(jīng)向全球發(fā)布了超過2000萬種產(chǎn)品，并繼續(xù)使用至今。 目前，Silicon Senseness已經(jīng)將兩種類型的MEMS陀螺儀商業(yè)化：（1）使用PZT技術(shù)的小型化MEMS陀螺儀系列，以及
（2）使用電磁感應(yīng)技術(shù)的高精度MEMS陀螺儀系列

，在MEMS中擁有最高的性能。

硅傳感陀螺儀機理（電磁感應(yīng)型）

圖1

圖2

硅傳感生產(chǎn)的陀螺儀基于使用MEMS-DRIE技術(shù)創(chuàng)建的硅環(huán)。
這個硅環(huán)通過一個叫做Leg的柱子（圖2）以浮動形式固定在空間中，并且發(fā)生共振振蕩（圖1），由于洛倫茲力使環(huán)變形為橢圓形。
在硅環(huán)上形成驅(qū)動電極和檢測電極，通過電流通過驅(qū)動電極產(chǎn)生位移，利用位移產(chǎn)生的電動勢形成回路，始終以相同的頻率和幅度驅(qū)動。

圖3

圖4

圖3顯示了在沒有角速度輸入的情況下執(zhí)行諧振振蕩的環(huán)的示意圖。
環(huán)重復(fù)“水平拉伸←→垂直"的橢圓變換，但藍點不動。
圖4是當(dāng)角速度施加在該狀態(tài)下時，科里奧利力作用在每個振蕩點上，因此振動變?yōu)榍€運動。
這也會導(dǎo)致藍點移動，因此通過檢測這種運動，可以確定角速度。

通用MEMS型陀螺儀傳感器可以利用MEMS的特性，以緊湊且廉價的方式制造，但另一方面，如果固定支點受到振動等的影響，則MEMS的共振振動可能會受到外部振動的干擾，從而導(dǎo)致角速度輸出不正確。
但是，在環(huán)形的情況下，環(huán)的振動很少受到外部振動的干擾，可以實現(xiàn)具有強抗振動和沖擊性的傳感器。
此外，通過設(shè)計上述支腿形狀，還獲得了出色的溫度特性性能。