日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器

 金屬イオンの溶出汚染がないインライン型冷卻加熱器により、ウェットプロセスに欠かせない 直接循環(huán)式薬液恒溫裝置。

 KELKのケミカルサーキュレータは、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる薬液 の溫度を高精度にコントロールするもので、半導(dǎo)體製造のウェットプロセスでは欠かせ ないものとして広くご愛用をいただいてきました。近年の使用薬液の多様化、高メガ ビット化に伴うクリーン度アップのご要求にお応えし、さらにニューアップしました。 （注）高溫薬液用としてはCSヒータをお奨めします。

 冷卻加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス狀炭素を使用しており、溶出金屬イオン による汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため剝離による能力低下もありません。 2.ゴムOリングが直接液に觸れないシール構(gòu)造のため、酸性液、アルカリ性液など薬液毎 のシール材質(zhì)の選定が不要です。 3.電子冷熱方式のため、室溫付近の溫度コントロールに適し且つ高精度です。 4.本裝置は國際保護規(guī)格IP31に適合しています。 5.裝置には、薬液や冷卻水の漏れを検知する漏液センサ、異常溫度を検知する溫度ス イッチを內(nèi)蔵していますので、安心してご使用いただけます。 ■特

日本kelk凱爾化學(xué)液體藥液溫度循環(huán)器