半導體用工業氣體壓力調節器 

半導體用工業氣體壓力調節器 

1. TORR系列是憑借長期的業績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。
2. 出貨檢驗：包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗，確保產品質量。
3. 潔凈室組裝：組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行，保證產品的高純度和潔凈度。
4. 大流量機型：TORR-3300系列為一次高壓用大流量機型，最大220m3/h（nor）供應可能。
5. 材質：使用材質接觸氣體部主體為SUS316，隔膜為氯羅普鎢橡膠（氣體接觸面、特氟龍蓋），壓力表為SUS316L，接頭為SUS316，氟樹脂，非接觸氣體部蓋子為C3604。
6. 性能參數：入口側最高使用壓為20MPa，出口側最高使用壓為1.0MPa，最大流量為220m3/h（nor）（P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS），使用溫度為-5～40°C，重量為14kg。過濾器未裝入，請另行設置。外部泄漏量為1.3×10-6Pa m3/sec以下。
7. 二次側微壓控制：TORR-L系列是可控制二次側微壓的調整器。

1. TORR系列是憑借長期的業績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。
2. 出貨檢驗：包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗，確保產品質量。
3. 潔凈室組裝：組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行，保證產品的高純度和潔凈度。
4. 大流量機型：TORR-3300系列為一次高壓用大流量機型，最大220m3/h（nor）供應可能。
5. 材質：使用材質接觸氣體部主體為SUS316，隔膜為氯羅普鎢橡膠（氣體接觸面、特氟龍蓋），壓力表為SUS316L，接頭為SUS316，氟樹脂，非接觸氣體部蓋子為C3604。
6. 性能參數：入口側最高使用壓為20MPa，出口側最高使用壓為1.0MPa，最大流量為220m3/h（nor）（P1=8MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS），使用溫度為-5～40°C，重量為14kg。過濾器未裝入，請另行設置。外部泄漏量為1.3×10-6Pa m3/sec以下。
7. 二次側微壓控制：TORR-L系列是可控制二次側微壓的調整器。